茂名滚珠花键SLT30
花键在晶圆搬运中的应用在晶圆搬运机械手中，滚珠花键用于实现末端执行器的旋转和升降复合运动。旋转式滚珠花键通过让外筒旋转或停止的运作，只用一根轴就能进行旋转、直线模式的运动。这种集成化设计大幅简化了机械结构。
半导体设备中的花键润滑需要选用的洁净润滑脂。这类润滑脂具有低挥发性和低析出物特性，在真空或低压环境下不会产生污染。花键轴的表面处理也可选择镀铬等耐腐蚀处理。
SOT系列的规格覆盖SOT系列涵盖SOT008、SOT010、SOT012、SOT015、SOT020、SOT025等规格。以SOT015为例，其轴径为13.6mm，花键轴承套外径为23mm，长度为40mm，基本额定负荷动额定为246N，基本额定扭矩为3.19N·m。
三、单出型与现配型的选择
SO系列分为现配型和单出型两种规格。现配型由MOSIONX原厂依客户订单裁切花键轴、装配花键外筒出货，其组装精度可达到超高精度。单出型花键轴、花键外筒则可单独出货，使用上较为便利。
茂名滚珠花键SLT30
平行度检测的实操方法使用千分表配合磁性表座进行平行度检测。将表座固定在设备基座上，表头接触基准面，沿基准面全长缓慢移动表座，记录读数的大值和小值。差值除以检测长度即为平行度误差。对于0.02mm/m的要求，在1m长度内读数变化应不超过0.02mm。
安装前的清洁与防护
基准面加工完成后，需彻底清除铁屑和油污。使用无尘布配合清洗剂擦拭表面，然后涂抹一层薄防锈油氧化。安装导轨时应避免用手直接接触基准面，以免汗液中的盐分引起锈蚀。梯比艾科技可为客户提供安装基准面加工和检测的技术指导，帮助设备制造商建立规范的安装工艺流程。
SOT12与SOT15的技术规格SOT系列涵盖SOT008、SOT010、SOT012、SOT015、SOT020、SOT025等规格。以SOT015为例，其轴径为13.6mm，采用2排滚珠设计，花键轴承套外径为23mm，长度为40mm，键槽尺寸为27mm×3.5mm×2mm，基本额定负荷动额定为246N，静额定为619N，基本额定扭矩为3.19N·m。
三、零间隙与高精度
MOSIONX SOT12属于圆筒型滚珠花键系列，花键轴承套外径为圆筒形，在传递扭矩时将键敲入后使用，是安装空间最小的形式。SOT花键螺帽与钢珠接触角为40°，采用轴承DB型背对背式组合设计，珠沟有效中心间的宽跨度使该结构特别适用于承受力矩荷载。MOSIONX滚珠花键可分为圆法兰SLF型、圆筒SLT型、方法兰SOF型及圆筒SOT型四种型式，因轴径大小钢珠接触路径又可分为2排（180°）和4排（70°）设计，此外亦提供空心轴供选择使用。滚珠花键采用哥德型40°角接触设计，滚珠滚动沟槽采精密研磨成型，径向和扭矩方向均具有大负荷容量，旋转方向零间隙、高定位精度，适用于产业机器人、自动装载机和精密自动化设备。深圳市梯比艾科技有限公司（梯比艾科技）现货供应MOSIONX SOT12及SOT全系列圆筒型花键，提供选型对照、安装尺寸确认和规格书下载服务。梯比艾科技在深圳设有仓库，常备SOT8至SOT25各规格，支持小批量试装与批量采购。